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产品型号
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ZRS-4D-4L2
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产品名称
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槽式制绒上料机（四通道）
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生产工艺
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在线式，清洗工艺
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设备功能
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将堆叠盒中的硅片装入湿花篮，并将湿花篮输入槽式清洗机。
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适用硅片
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单晶/多晶
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单晶多晶兼容
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外形尺寸
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156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
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厚度
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160μm-220μm
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工装
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堆叠盒工装
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江松堆叠盒、可定制
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花篮工装
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4.76×100槽湿花篮、可定制
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设备运行能力
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实际运行产能（净产能）
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≥9000片/小时
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正常运行时间（up time）
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≥98%
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平均无故障时间（MTBF）
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MTBF≥500小时
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平均故障修复时间（MTTR）
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MTTR≤1小时
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碎片率
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≤0.05% ，A片（不含本身隐裂、线痕等缺陷片）
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动力要求
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电源
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AC220V，50HZ
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功率
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8KW
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压缩空气
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0.6MPA，主气路管道直径≥20mm，连接气管直径≥16mm
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环境
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温度/湿度
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0-35℃，40%-60%
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洁净度
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符合十万级洁净区规范要求
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噪音
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≤60db
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设备结构
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整机重量
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5000KG
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外形尺寸（mm）
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长×宽×高（5065mm×3178mm×2200mm）
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设备操作方位
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自动化不分左右手
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花篮工位
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四工位
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堆叠盒工位
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三工位×4轨
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花篮装卸方式
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人工装卸：人工装卸时，手工直接将花篮放置于花篮工作台；亦可对接AGV小车。
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堆叠盒装卸方式
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手动装卸
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苏公网安备 32021402000985号